5nmフィードバックステージ
FS-SPX
在庫あり
SKU
FS-SPX
5nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。 このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。
Customize product
フィルタ
Enabled filters :
Remove all filters
名前 | Stage Size | 出荷 | 価格 | カートに追加 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
i
5nmフィードバックステージ
FS-1020SPX |
60×60mm |
2-6 weeks
|
- |
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
i
5nmフィードバックステージ
FS-1050SPX |
120×120mm |
2-6 weeks
|
- |
|
質問をするにはログインをする必要があります。