XZ軸フラットステンレスステージ

詳しくは
名前	XZ軸フラットステンレスステージ
質量	0.4500kgs
Guide	▶TSDSシリーズは、クリーンルームや真空用途に適したステージです。参照/真空度測定データアウトガスを嫌う気密性が高い狭スペース内での使用にも最適です。
Attention	▶Z軸構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することはできません。 ▶テコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対する送り量にズレ（マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対し±0.02mm程度）が生じます。 ▶□25mmと□40mmでは、回転方向（ヨーイング方向）に対して、高荷重をかけると故障の原因になることがありますのでご注意ください。
Image Label	XZ Axis Stainless Steel Extended Contact Translation Stages
Stage Size	40×40mm
Travel	X axis±6.5mm　Z axis±3mm
Load Capacity	88.3N (9.0kg)
Mounting Thread	M3
テーブル面サイズ	40×40mm
移動量	X軸：±6.5mm Z軸：±3mm
移動量/1回転	0.5mm
マイクロメータ最小読取	0.01mm
耐荷重	88.3N(9.0kgf)
移動精度/真直度	2.5μm
許容モーメント荷重/ピッチング	3.9N･m
許容モーメント荷重/ローリング	3.9N･m
モーメント剛性/ピッチング	2.2″/N･cm
モーメント剛性/ローリング	2.15″/N･cm
平行度	110μm