Z軸大型ステージ
TSM-2003-M6
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ジャッキスクリュー方式を使用した、薄型なステージ面の大型ステージです。
| 名前 | Z軸大型ステージ |
|---|---|
| 質量 | 5.0000kgs |
| Image Label | High Load Capacity Jack 200mm Square with M6 Threads |
| Stage Size | 200×200mm |
| Travel | 10mm |
| Load Capacity | 490N (50.0kg) |
| テーブル面サイズ | 200×200mm |
| 移動量 | 10mm |
| 耐荷重 | 490N（50.0kgf） |
| 平行度 | 150μm |
| 許容モーメント荷重/ピッチング | 4.9N･m |
| 許容モーメント荷重/ローリング | 4.9N･m |
| モーメント剛性/ピッチング | 0.05″/N･cm |
| モーメント剛性/ローリング | 0.05″/N･cm |
| 質量 | 5.0kg |
| 納期の目安 | 1 |
| 移動ガイド | ジャッキスクリュー方式 |
| 主要材質 | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト |
| 移動量/1回転 | 1mm |
| 移動精度/真直度 | 200μm |
| 表示分解能 | 1mm |
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