1nmフィードバックステージ

1nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
FS-UPXシリーズは、高トルクタイプのFS-SPXシリーズと比較し高速に動作します。
また、位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め（位置再現性）、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、20mm、50mmの2タイプをラインナップしています。