10nmフィードバックステージ
FS-PX
在庫あり
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FS-PX
10nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、5種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、5種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
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名前 | Stage Size | 出荷 | 価格 | カートに追加 | |||||||||||||||||||||
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10nmフィードバックステージ
FS-1020PX |
60×60mm |
2-6 weeks
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10nmフィードバックステージ
FS-3150PX |
120×170mm |
2-6 weeks
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10nmフィードバックステージ
FS-1050PX |
120×120mm |
2-6 weeks
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- |
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i
10nmフィードバックステージ
FS-3200PX |
160×230mm |
2-6 weeks
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10nmフィードバックステージ
FS-1100PX |
120×120mm |
2-6 weeks
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