10nmフィードバックステージ

FS-PX

10nmフィードバックステージ
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SKU
FS-PX
10nm分解能で位置決めができるフィードバックステージです。
位置の検出には自社開発した光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵しています。このエンコーダの位置情報を使用してフィードバック制御をすることで、目標位置への位置決め、繰り返し位置決め(位置再現性)、位置決めの保持が高分解能で可能となっています。
移動量は、5種類をラインナップしています。移動量が大きいため、広範囲にデータを取得したい場合やサンプルの精密な位置決めと移動を1台のステージで行いたい場合に最適です。
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名前 Stage Size 出荷 価格 カートに追加
i
10nmフィードバックステージ
FS-1020PX
60×60mm
2-6 weeks
-
移動量 20mm
テーブル面サイズ 60×60mm
移動ガイド クロスローラガイド
送りネジ ボールねじ径φ4mm、リード1mm
質量 0.5㎏
最小分解能※1 10nm
繰返し位置決め精度※1 ±20nm
耐荷重 49N(5kgf)
走り平行度 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
i
10nmフィードバックステージ
FS-3150PX
120×170mm
2-6 weeks
-
移動量 150mm
テーブル面サイズ 120×170mm
移動ガイド LMガイド
送りネジ ボールねじ径φ8mm、リード1mm
質量 2.8㎏
最小分解能※1 10nm
繰返し位置決め精度※1 ±20nm
耐荷重 98N(10kgf)
走り平行度 10μm(移動量100mmあたりの走り平行度)
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
i
10nmフィードバックステージ
FS-1050PX
120×120mm
2-6 weeks
-
移動量 50mm
テーブル面サイズ 120×120mm
移動ガイド クロスローラガイド
送りネジ ボールねじ径φ6mm、リード1mm
質量 1.6㎏
最小分解能※1 10nm
繰返し位置決め精度※1 ±20nm
耐荷重 98N(10kgf)
走り平行度 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
i
10nmフィードバックステージ
FS-3200PX
160×230mm
2-6 weeks
-
移動量 200mm
テーブル面サイズ 160×230mm
移動ガイド LMガイド
送りネジ ボールねじ径φ10mm、リード2mm
質量 5.0㎏
最小分解能※1 10nm
繰返し位置決め精度※1 ±20nm
耐荷重 196N(20kgf)
走り平行度 10μm(移動量100mmあたりの走り平行度)
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。
i
10nmフィードバックステージ
FS-1100PX
120×120mm
2-6 weeks
-
移動量 100mm
テーブル面サイズ 120×120mm
移動ガイド LMガイド
送りネジ ボールねじ径φ6mm、リード1mm
質量 2.1㎏
最小分解能※1 10nm
繰返し位置決め精度※1 ±20nm
耐荷重 98N(10kgf)
走り平行度 10μm
※1 内蔵スケールの読み取り値に対する「最小分解能」および「繰返し位置決め精度」です。

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